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品牌大意：Moduteck是你的控制氣體壓力的合作伙伴。擁有超過(guò)20年的經(jīng)驗(yàn)，他們能夠使氣體壓力控制取決于熱量需求，調(diào)整壓力調(diào)節(jié)器對(duì)許多應(yīng)用。同時(shí)他們的名字被許多制造商(丙烷)燃?xì)庥镁呗劽odutek在濕式工作臺(tái)和半導(dǎo)體濕法工藝設(shè)備的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)方面擁有40年的成功經(jīng)驗(yàn)，將經(jīng)驗(yàn)與從內(nèi)部開發(fā)中獲得的專業(yè)知識(shí)相結(jié)合。這種組合使公司能夠提供具有出色可靠性和低總擁有成本的高質(zhì)量產(chǎn)品。Modutek是客戶的一站式目的地，從設(shè)計(jì)批準(zhǔn)到安裝到最終驗(yàn)收，提供滿足客戶需求的標(biāo)準(zhǔn)和定制解決方案。小編現(xiàn)在就來(lái)分享給大家《MODUTECK,美國(guó)MODUTECK壓力調(diào)節(jié)器,MODUTECK高級(jí)濕處理設(shè)備》的產(chǎn)品內(nèi)容，大家趕緊來(lái)學(xué)習(xí)一下吧。
一、美國(guó)MODUTECK公司簡(jiǎn)介
Modutek Corporation最初成立于1980年，開始為快速發(fā)展的半導(dǎo)體行業(yè)制造濕法工藝設(shè)備組件。他們的專長(zhǎng)包括高溫石英加熱浴、低溫過(guò)濾系統(tǒng)、氮化物蝕刻浴和沖洗系統(tǒng)。他們最初的市場(chǎng)既向最終用戶銷售，也向OEM的濕式工作臺(tái)加工站提供支持。在90年代初期，與半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)的環(huán)境問(wèn)題成為人們關(guān)注的問(wèn)題。為了幫助支持這個(gè)不斷增長(zhǎng)的市場(chǎng)，Modutek收購(gòu)了Shannon Engineering并將名稱更改為Pollution Control Laboratories(PCL)。新的環(huán)保集團(tuán)作為Modutek的子公司運(yùn)營(yíng)，生產(chǎn)空氣洗滌器、酸中和系統(tǒng)和化學(xué)品輸送系統(tǒng)。到90年代末，Modutek放棄了子公司。從那時(shí)起，這些環(huán)境系統(tǒng)就以Modutek品牌制造。
隨著濕法工藝設(shè)備的新技術(shù)進(jìn)步，Modutek于2002年收購(gòu)了Sysmax Inc.，這為他們提供了自動(dòng)化靈活性、真空蝕刻系統(tǒng)(VES)和旋轉(zhuǎn)工藝系統(tǒng)(SPS)。這兩個(gè)系統(tǒng)都是業(yè)界獨(dú)有的，因?yàn)閂ES在真空下蝕刻鋁，而SPS旋轉(zhuǎn)兩個(gè)晶圓載體并在蝕刻和沖洗之間轉(zhuǎn)移它們，占用空間非常小。Sysmax最初作為Modutek的子公司運(yùn)營(yíng)了兩年?，F(xiàn)在客戶可以購(gòu)買Modutek公司名下的所有設(shè)備。多年來(lái)，半導(dǎo)體濕法工藝設(shè)備制造商和整個(gè)科技行業(yè)經(jīng)受住了許多業(yè)務(wù)低迷的考驗(yàn)。自2000年以來(lái)，他們已經(jīng)看到他們的許多OEM濕法加工臺(tái)制造商離開了這個(gè)行業(yè)。這為Modutek提供了絕佳的擴(kuò)張機(jī)會(huì)。憑借他們現(xiàn)在的完整背景，他們已經(jīng)能夠?qū)⒆约憾ㄎ粸榻昏€匙濕式工作臺(tái)制造業(yè)務(wù)。
二、美國(guó)MODUTECK部分產(chǎn)品介紹
1、美國(guó)MODUTECK旋轉(zhuǎn)晶圓蝕刻系統(tǒng)特點(diǎn)
①M(fèi)odel-SPS通過(guò)在工藝循環(huán)期間旋轉(zhuǎn)晶圓舟并從化學(xué)工藝浴快速轉(zhuǎn)移到淬火槽來(lái)產(chǎn)生一致的結(jié)果。
②帶編碼器的閉環(huán)電機(jī)控制提供精確的旋轉(zhuǎn)攪拌。
③基于微處理器的觸摸屏系統(tǒng)提供可靠和精確的過(guò)程控制。所有操作員控件都易于操作和訪問(wèn)。
④最多可以通過(guò)觸摸屏對(duì)5個(gè)過(guò)程“配方”進(jìn)行編程。該屏幕在單個(gè)屏幕上顯示“配方”和過(guò)程信息的摘要，以便于參考。
⑤高吞吐量。雙密封結(jié)構(gòu)。
⑥N2壓力丟失時(shí)的“故障保護(hù)”功能。
⑦精確控制浴溫。兩個(gè)具有過(guò)溫保護(hù)的液位傳感器。
⑧與腐蝕性液體接觸的所有部件均由惰性塑料制成或密封以防止直接接觸。
2、美國(guó)MODUTECK真空金屬蝕刻機(jī)
Modutek的真空金屬蝕刻機(jī)Model-VES是一款全自動(dòng)批處理處理器，專為半導(dǎo)體晶圓上鋁層的精確濕化學(xué)蝕刻而設(shè)計(jì)。晶圓在真空下被蝕刻，因此氫氣泡（一種導(dǎo)致“雪花”和“橋接”的蝕刻反應(yīng)）立即從晶圓表面去除并通過(guò)抽真空泵排出。該裝置最多可處理兩(2)個(gè)150MM晶圓盒或一(1)個(gè)200MM晶圓盒。
3、美國(guó)MODUTECK手動(dòng)式工作臺(tái)
①用于酸堿工藝的白色聚丙烯結(jié)構(gòu)
②用于溶劑應(yīng)用的不銹鋼結(jié)構(gòu)
③可提供任何尺寸和長(zhǎng)度以滿足您的要求
④根據(jù)NFPA 70和79接線的所有站
⑤帶蘑菇按鈕和所有安全聯(lián)鎖裝置的緊急斷電(EPO)
⑥所有帶有1”唇形排氣口的工藝罐
⑦N2頭殼吹掃
⑧與EPO互鎖的光螺旋
⑨PVC安全防護(hù)罩
⑩Teflon N2噴槍和去離子水手噴
?連續(xù)流動(dòng)去離子水歧管
?腳輪和腿矯直機(jī)
?所有零件保修一年
?2份紙質(zhì)手冊(cè)和一套完整的無(wú)紙化
4、美國(guó)MODUTECK溫控循環(huán)器RCe系列產(chǎn)品系統(tǒng)規(guī)格
①加熱容量：標(biāo)準(zhǔn)-1500W(可根據(jù)要求提供其他尺寸)
②冷卻能力：標(biāo)準(zhǔn)-1/4hp(可根據(jù)要求提供其他尺寸)
③可選配塑料的不銹鋼水箱
④精度：0.2ºC–取決于控制器
⑤水庫(kù)填充：裝置頂部
⑥尺寸：20.5英寸(長(zhǎng))x 25英寸(寬)x 15.25英寸(高)
5、美國(guó)MODUTECK快速轉(zhuǎn)儲(chǔ)沖洗器的特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)
①快速傾倒頂部噴霧
②360度溢流堰
③輪廓容器設(shè)計(jì)
④大型機(jī)加工翻斗門
⑤帶有低霧化噴嘴的雙頭頂噴霧歧管
⑥促進(jìn)層流，同時(shí)最大限度地減少顆粒污染
⑦減少去離子水的消耗
⑧加快轉(zhuǎn)儲(chǔ)時(shí)間并消除顆粒截留
⑨消除過(guò)度噴涂條件
三、美國(guó)MODUTECK主要產(chǎn)品和型號(hào)
1、美國(guó)MODUTECK主要產(chǎn)品
①美國(guó)MODUTECK快速轉(zhuǎn)儲(chǔ)沖洗器
②美國(guó)MODUTECK高級(jí)濕處理設(shè)備
③美國(guó)MODUTECK濕基和化學(xué)站
④美國(guó)MODUTECK硅蝕刻組件
⑤美國(guó)MODUTECK壓力調(diào)節(jié)器
2、美國(guó)MODUTECK產(chǎn)品型號(hào)
①美國(guó)MODUTECK溫控循環(huán)器RCe系列產(chǎn)品系統(tǒng)
②美國(guó)MODUTECK Moduteck壓力調(diào)節(jié)器型號(hào)：MS 20、MS 40、MS 60
③美國(guó)MODUTECK DR SERIES快速卸料沖洗器
④美國(guó)MODUTECK溫控循環(huán)器RCe系列
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